Ena od silicijevih kovine na visoki ravni

Silicijeva kovinaje pomemben surovina za proizvodnjo organosilikona in elektronskega silicija, ki zahteva rafiniranje, da se zmanjša nečistoče. Metoda oksidacije je relativno učinkovita metoda odstranjevanja in nečistoče. Pri uporabi te metode je ključnega pomena za nemoten napredek reakcije rafiniranja ključnega pomena izbire žlindre z ustrezno gostoto, viskoznostjo, temperaturo tekoče faze in medfazno napetostjo. Poskusi so bili izvedeni na odstranitvi aluminija in kalcija iz metalurškega silicija z uporabo natrijevega kalcijevega silikatnega stekla kot oksidanta. Stopnje odstranjevanja aluminijevih in kalcijevih nečistoč v metalurškem siliciju je doseglo kar 93,1% oziroma 96,4%, pri čemer se je vsebina aluminija in kalcija zmanjšala na tako nizko kot 0. {{6} 7% in 0,025%.

1.Silicijeva kovina se pogosto uporablja za stike med virom, odtokom, vrati in kovinskimi elektrodami v mikroelektronskih napravah, zaradi česar je eden ključnih materialov za pripravo nano integriranih vezij. Razpravljajo se fazna sestava, medfazne reakcije in mehanizmi tvorbe funkcionalnih kovinskih silicidov za integrirane vezje polprevodnikov, pa tudi različne tehnike priprave, kot so toplotno izhlapevanje, ionsko implantacijo, odlaganje brizganja in epitaksija molekularnega žarka. Preučujejo se materialne lastnosti Tisi2, Cosi2 in Nisi ter njihov vpliv na delovanje integriranih vezij na različnih tehnoloških vozliščih. Analizira se razmerje med temperaturo žarjenja in kristalno strukturo in rešetkastimi parametri NISI. Pojasni se proces rasti redkih zemeljskih kovinskih silicidov ter njihove pregrade in medfazne značilnosti s silikonskimi substrati. Predstavljena je ocena uspešnosti zgoraj omenjenih kovinskih silicidov, odkrivanje napak in metode testiranja toplotne stabilnosti. Raziskovanje novih vrst kovinskih silicidov za obsežne polprevodniške integrirane vezje na tehnoloških vozliščih 32 nm in spodaj je postalo glavni poudarek na prihodnjih raziskavah.

Priljubljena oznake: Eden od materialov na visoki ravni silicijev kovina, Kitajska eden od materialov na visoki ravni proizvajalcev silicijevih kovin, dobaviteljev, tovarni